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广州潽拓光电科技有限公司——varian真空泵维修
瓦里安Varian Turbo-V300HT涡轮分子泵采用免维护的陶瓷轴承， 无油，***， 平均无故障时间大大增加
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瓦里安分子泵总体安装注意事项
①、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。
②、打开泵高真空端法兰盖板，Agilent TV301修理销售，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。
③、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。
④、确认防护网已安装，特殊情况下定做特殊防护网。
⑤、确认已装入润滑油。
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安捷伦真空泵维修注意事项：
1）保证气路、水路正确连接，不得漏水、漏气；
2）本泵能抽除含有少量尘埃气体，但化工反应过程中，若有大量的尘埃，
应先通过化工过滤器之后，在连接真空泵，切忌不经过滤器，直接用本泵抽含有大量粉尘容器；泵可以在低于2*1了Pa的压力下连续工作，不可以用此泵长时间工作在高于2*1护Pa的压力范围
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Agilent TV903 安捷伦分子泵维修及保养，Agilent TV903 安捷伦分子泵产品图
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高真空泵可将腔室或系统抽空到高机械泵（10-3至10-8托）或极高机械泵（<10-8托）的压力范围内。机械泵和文丘里管发生器在中等偏上至粗机械泵范围内运行
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高真空涡轮分子泵是什么？
涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，可以通过它实现 0.00000001Pa（大气压的十万亿分之一）的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪（比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…）、镀膜机、电子显微镜（SEM、TEM）、聚焦离子束系统（FIB）、表面分析仪器，高能物理实验装置、粒子、高真空实验装置等诸多应用。
